扫描声学显微镜(SAT)操作和应用指南
2024-03-09 19:02:55来源:西游留学网作者:沉舟 阅读量:11245
问:超声波扫描显微镜SAT和X-RAY的区别是什么?
答:在同一实验室内,SAT和X-ray是互补方法的手段。
主要区别是显示了样品的特性差异。
X-ray能够观察样品内部主要基于材料密度的不同。
X-ray对分层空气非常不敏感,除非材料充分物理分离,否则很难观察到裂纹和虚焊。
X射线成像操作采用透射模式,获得了整个样品厚度的一个合成图像。
在较长的检查期间内,如果半导体设备放置得离X-ray射线源比较近,可能会发生损坏和随机电子错误。
由于空气层阻断超声波的传递,因此SAT对内部存在的空气层非常敏感。
基于反射回波模式生成的图像只需通过样品表面,焊接层、粘接层、填充层、涂层、粘接层的完整性是SAT独特的性能。
另外,SAT使用的超声波频率高于MHz,该范围内的超声波不会产生气蚀,检查的组件没有任何损伤。
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